一、靜電對電子裝備形成的危害

　　靜電危害可分為兩類：一是由靜電引力引起的浮游塵埃的吸附；二是由靜電放電引起的介質(zhì)擊穿。

　　1. 靜電吸附

　　在半導(dǎo)體元器件的生產(chǎn)制造過程中,由于大量使用了石英及高分子物質(zhì)制成的器具和材料，其絕緣度很高，在使用過程中一些不可避免的摩擦可造成其表面電荷不斷積聚, 且電位愈來愈高。由于靜電的力學(xué)效應(yīng)，在這種情況下,很容易使工作場所的浮游塵埃吸附于芯片表面，而很小的塵埃吸附都有可能影響半導(dǎo)體器件的良好性能。

　　2.靜電放電與介質(zhì)擊穿

　　靜電放電的起放電源是空間電荷，因而它所儲(chǔ)存的能量是有限的，故它僅能提供短暫發(fā)生的局部擊穿能量。雖然靜電放電的能量較小, 但其放電波形很復(fù)雜，控制起來也比較麻煩。半導(dǎo)體器件的軟擊穿就與它有關(guān)。

　　由靜電引起元器件的擊穿是電子裝備中靜電危害的主要方式，是電子裝備制造中*普遍、*嚴(yán)重的危害。

　　靜電放電可能造成器件硬擊穿或軟擊穿。硬擊穿是一次性造成器件的長久性失效，如器件的輸出與輸入開路或短路。軟擊穿則可使器件的性能劣化，并使其指標(biāo)參數(shù)降低而造成故障隱患。由于軟擊穿可使電路時(shí)好時(shí)壞（指標(biāo)參數(shù)降低所致），且不易被發(fā)現(xiàn)，給整機(jī)運(yùn)行和查找故障造成很**煩。軟擊穿時(shí)裝備仍能帶"病"工作，性能未發(fā)生根本變化，很可能通過出廠檢驗(yàn)，但隨時(shí)可能造成再次失效。多次軟擊穿就能造成硬擊穿，使電子裝備運(yùn)行不正常。

　　人體自身也會(huì)產(chǎn)生靜電，人體靜電放電既可能造**體遭電擊而降低工作效率，又可能引發(fā)二次事故（即器件損壞），因此，應(yīng)引起足夠重視。

　　在**訓(xùn)練中，人體形成靜電的原因是人體把所消耗的機(jī)械能在活動(dòng)中轉(zhuǎn)換為電能。人體是一個(gè)靜電導(dǎo)體，當(dāng)與大地絕緣時(shí)（如穿的鞋底為絕緣物質(zhì)），人體與大地就形成一個(gè)電容，使電荷儲(chǔ)存起來，其充電電壓一般 ≤50kV。當(dāng)電荷儲(chǔ)積到一定程度時(shí)，一旦條件成熟會(huì)放電形成火花，瞬時(shí)放電電壓可達(dá)數(shù)千千伏，放電功率可達(dá)幾千千瓦。

　　人體帶電放電時(shí)，人體會(huì)有不同程度的反映，這種反映稱為電擊感度。當(dāng)人體受到靜電電擊時(shí)，雖不會(huì)發(fā)生重大生理障礙，但可能影響人的工作效率，或造成精神緊張和二次破壞等。

　　二、應(yīng)該引起注意的電子裝備防靜電

　　由于電子裝備的迅速發(fā)展，體積小、集成度高的器件得到大規(guī)模生產(chǎn)，從而導(dǎo)致導(dǎo)線間距越來越小，絕緣膜越來越薄，致使耐擊穿電壓也愈來愈低。而電子裝備在生產(chǎn)、運(yùn)輸、儲(chǔ)存和轉(zhuǎn)運(yùn)等過程中所產(chǎn)生的靜電電壓卻遠(yuǎn)遠(yuǎn)超過其擊穿電壓閾值，這就可能造成器件的擊穿或失效，影響裝備的技術(shù)指標(biāo)，降低其可靠性。

　　防止靜電主要是抑制靜電的產(chǎn)生，加速靜電的泄漏，進(jìn)行靜電中和等。人穿非導(dǎo)電鞋時(shí)，由于行走等活動(dòng)會(huì)產(chǎn)生、積蓄電荷，并可達(dá)到千伏級(jí)的電位。兩個(gè)不同的物體相互接觸時(shí)，在其界面上產(chǎn)生電荷移動(dòng)，正、負(fù)電荷相對排列形成雙電層。若將物體分離，會(huì)在兩個(gè)物體上各自產(chǎn)生極性不同的等量電荷。防止這種靜電的原則是：對產(chǎn)生靜電的主要因素（物體的特性、表面狀態(tài)、帶電歷史、接觸面積和壓力、分離速度等）盡量予以排除；使相互接觸的物體在帶電序列中所處的位置盡量接近；使物體間的接觸面積和壓力要小，溫度要低，接觸次數(shù)要少，分離速度要小，接觸狀態(tài)不要急劇變化等。粉體、液體、氣體在運(yùn)輸過程中由于摩擦?xí)a(chǎn)生靜電，因此，要采取限制流速、減少管道的彎曲，增大直徑、避免振動(dòng)等措施。

　　靜電防護(hù)除降低速度、壓力、減少摩擦及接觸頻率，選用適當(dāng)材料及形狀，增大電導(dǎo)率等抑制措施外，還可采取下列措施：①接地。②搭接（或跨接）。③屏蔽。④對幾乎不能泄漏靜電的絕緣體用抗靜電劑以增大電導(dǎo)率，使靜電易于泄漏。⑤采用噴霧、灑水等方法提高環(huán)境濕度，抑制靜電的產(chǎn)生。⑥使用靜電消除器，進(jìn)行靜電中和。

　　三、電子裝備生產(chǎn)過程中消除靜電的途徑

　　防靜電主要是防止靜電放電。控制靜電放電要從控制靜電的產(chǎn)生和控制靜電的消除兩方面入手?？刂旗o電的產(chǎn)生主要是控制工藝過程和工藝過程中材料的選擇；控制靜電的消除主要是加速靜電的泄露和中和。這兩點(diǎn)共同作用才能使靜電電壓不超過**閾值，以達(dá)到靜電防護(hù)的目的。

　　靜電能對靜電敏感器件造成危害，但它是可控的，可消除的。

　　1.靜電的消除：

　?、?對有可能產(chǎn)生靜電的地方要防止靜電荷的聚集。即采取一定的措施避免或減少靜電放電的產(chǎn)生?？刹捎眠叜a(chǎn)生邊泄露的辦法達(dá)到消除電荷聚集的目的。

　?、趯σ汛嬖诘碾姾煞e聚，應(yīng)迅速地消除掉。當(dāng)絕緣物體帶電時(shí)，電荷不能流動(dòng)，無法進(jìn)行泄漏，可利用靜電消除器產(chǎn)生異性離子來中和靜電荷。當(dāng)帶電的物體是導(dǎo)體時(shí)，則采用簡單的接地泄露辦法，使其所帶電荷完全消除。要構(gòu)成一個(gè)完整的靜電**工作區(qū)，至少應(yīng)包括有效的靜電臺(tái)墊、專用地線和防靜電腕帶等。

　　2.靜電的控制：靜電的控制技術(shù)是在靜電電荷積聚不可避免的情況下，采取綜合措施將靜電危害控制在允許的范圍內(nèi)。

　?、俟に嚳刂品ā∧康氖窃谏a(chǎn)過程中盡量少地產(chǎn)生靜電荷。對工藝流程中材料的選擇、裝備安裝和操作管理等過程應(yīng)采取預(yù)防措施，控制靜電的產(chǎn)生和電荷的聚集，抑制靜電電位和放電能量，使危害降到*小程度。

　?、?泄露法　目的是使靜電荷通過泄露達(dá)到消除。一般采用靜電接地使電荷向大地泄露，通常利用增大物體電導(dǎo)的方法使靜電泄露。

　?、垤o電屏蔽法　采用接地的屏蔽罩把帶電體與其它物體隔離開，這樣帶電體的電場將不影響周圍其它物體，這種屏蔽方法叫內(nèi)場屏蔽。有時(shí)也用接地的屏蔽罩把被隔離物體包圍起來使被隔離物免受外界電場的影響，這種屏蔽方法叫外場屏蔽。

　?、軓?fù)合中和法及其它　通過復(fù)合中和法來達(dá)到靜電荷的消除。通常用靜電消除器產(chǎn)生的異性離子來中和帶電體的電荷，并有可能使帶電物體表面光滑以及周圍環(huán)境更加清潔，從而減少**放電的可能性。